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永磁铁低温探针台PSM-PM系列

永磁铁低温探针台PSM-PM系列

PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台,提供0.5T垂直磁场,能够对2寸、4寸、晶圆片进行重复性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。永磁铁低温探针台PSM-PM系列,具体参数请咨询客服!

永磁铁低温探针台PSM-PM系列产品概述

随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,要去测试它在低温环境或者变温环境下的的电学性能(如电流、电压、阻抗等)时,配有显微镜的低温探针台能够提供良好的低温电测环境。


永磁铁低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试,帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能,从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。

PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台,提供0.5T垂直磁场,能够对2寸、4寸、晶圆片进行重复性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。

永磁铁低温探针台PSM-PM系列技术参数

参数和指标:

探针台主机分类
型号PSM-PM-2PSM-PM-2H
温度范围 
80K--500K
80K--800K
控温稳定性
+/-50mK
+/-100mk
样品座
类型及材料无氧铜接地镀金样品座
无氧铜接地样品座
尺寸2寸2寸
可选规格
绝缘样品座 (温度只能到400K)
同轴样品座 (温度只能到400K)
三同轴样品座(温度只能到400K)
探针臂
类型直流探针臂
数量4
接头及电缆
三同轴接头+极细同轴低温电缆
漏电流100fA@1V 真空环境中
信号频率
 DC--50MHz
匹配阻抗 
50欧姆
位移范围
Z +/-6.5mm R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm 
光学系统
显微镜放大倍数
 10--180倍
分辨率
3微米
视场 
22mm
工作距离
 90--100mm
真空腔
材料铝合金
腔体容积
 4L
整体尺寸
800*800*600
腔体内径
 124mm
视窗尺寸
 0mm
真空腔体窗口
红外吸收窗口
防辐射屏窗口 
N/A                    标准石英窗口
真空度
 5*10E-4 torr
预留接口
2个探针臂接口&2个电学接口
防辐射屏材料
                                   N/A                          不锈钢
液氮腔体
液氮容量
 0.5L
冷却时间
60分钟到80K
液氮消耗量
0.2L从室温到80K
液氮保持时间
 4小时@80K
滑台
X-Y移动行程2/4寸:X-Y轴±50mm
读数精度10μm
永磁铁组件
磁场大小 0.5T
磁铁间距30mm
磁铁极面尺寸 50mm
专用振动隔离
尺寸
 800*800*800
 900*900*800
桌推
 固定脚&滚轮